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產品簡介：小型兩通道供氣系統CGM-2F是一種緊湊型雙通道微量氣體混合供氣系統，輸入的兩種不同氣體通過調節壓力和流量，即可輸出一種較準確的混合性氣體，可用以小型管式爐、手套箱、等離子清洗機、小型PECVD系統

產品簡介：精密液體氣相發生器是針對實驗室CVD實驗中導入液體的系統，其液體流量是通過數字液體泵來控制，流量為80ml/min，精確度為0.005ml

產品簡介：混氣系統4路質子GSL-4Z是用于控制一種到四種的氣體流經真空密封的管式爐

產品簡介：混氣系統3路質子GSL-3Z是用于控制一種到三種的氣體流經真空密封的管式爐

產品簡介：混氣系統2路質子GSL-2Z是用于控制一種或兩種的氣體流經真空密封的管式爐

產品簡介：多路質量流量供氣系統是用于控制一種到多種的氣體流經真空密封的管式爐