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產品簡介: 精密液體氣相發生器是針對實驗室 CVD 實驗中導入液體的系統,其液體流量是通過數字液體泵 來控制, 流量為 80ml/min ,精確度為 0.005ml。液體被蠕動泵導入到混氣系統后,被系統里的加熱裝
置加熱成蒸汽, 然后隨導入的氣體被帶入到爐管中。本機能夠導出多種液體, 如 ETOH 、SnCl4 、 TiCl4R、
SiHCl3 和 Zn(C2H5)2,以及多種有機物混合。對于研究用 CVD 方法生長納米線和薄膜是的研究設備。
產品型號 | 精密液體氣相發生器 |
主要特點 | 1 、流體和氣體在一個 316 不銹鋼罐中加熱。 |
2 、采用 30 段程序化控溫。 3 、氣體流速通過浮子流量計控制。 4 、配有壓力表,可測出液氣混合罐中的氣體壓強。 5 、配有兩個不銹鋼針閥,以控制氣體進出。 6 、可與本司所有管式爐和 CVD 系統相連接。 | |
7 、已通過 CE 認證。 | |
技術參數 | 1 、電源: 單相 AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率: 1000W 3、蠕動泵:精確度±0.02%FS ,流量 0-80ml/min (可調) 4、工作溫度: 300℃ |
5 、控溫精度:±1℃ 6、浮子流量計: 0-2000ml/min (可調) 7、出氣口: 外徑 1/4″ | |
產品規格 | 尺寸: 350mm×335mm×300mm;重量: 5kg |
可選配件 | 加熱帶(纏繞在外接的管道上,以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會液化。) |