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產品簡介: 小型兩通道供氣系統 CGM-2F 是一種緊湊型雙通道微量氣體混合供氣系統,輸入的兩種不同氣 體通過調節壓力和流量, 即可輸出一種較準確的混合性氣體, 可用以小型管式爐、手套箱、等離子清洗機、 小型 PECVD 系統。
產品型號 | 小型兩通道供氣系統 CGM-2F |
主要特點 | 1 、采用 SS304 精密不銹鋼針閥。 |
2 、采用 1/4″管徑不銹鋼或聚四氟乙烯管。 | |
3、無需外接電源。 | |
技術參數 | 1、浮子流量計: 10-100ml/min,兩個 2、壓力表: -0.1-1.0MPa(0.01MPa/grid),三個 |
產品規格 | 尺寸: 340mm×300mm×180mm;重量: 6.35kg |