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混氣系統3路質子GSL-3Z

描述：產品簡介：混氣系統3路質子GSL-3Z是用于控制一種到三種的氣體流經真空密封的管式爐

廠商性質
經銷商
更新時間
2024-03-07
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詳細介紹

產品簡介：混氣系統 3 路質子 GSL-3Z 是用于控制一種到三種的氣體流經真空密封的管式爐，這種氣體控制系統安裝在移動架內，管式爐可以放在移動架上面，氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的調節閥，可以用于 CVD 系統及退火爐，用來研究氣體環境對材料的影響，在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用，廣泛應用于電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、 CVD、等離子濺射以及鍍膜設備、光纖熔煉、混氣配氣系統及其它分析儀器。

產品型號

混氣系統 3 路質子 GSL-3Z

主要特點

精度高，運行穩定可靠，工作壓力范圍寬，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便。

技術參數

1、電源： 185-245V 50Hz

2、輸出功率： 18W

3 、控制范圍：控制器 1——0-100SCCM 、控制器 2——1-199SCCM 、控制器

3——1-499SCCM

5、準確度：± 1%FS

6、線性：±0.5-1.5%

7、重復精度：±0.2%FS

8、響應時間：氣特性 1-4s ，電特性 10s 針閥： 316 不銹鋼

	9、工作壓差范圍： 0.1-0.5 MPa
	10、壓力表測量范圍： -0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid）
	11、混氣罐： ?80mm×120mm 12、截止閥： ?1/4″ ，316 不銹鋼針閥
	13、工作溫度： 5-45℃
產品規格	尺寸： 600mm×600mm×650mm

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