產品型號

微型 PECVD 系統

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、加熱圈套有石英罩，以減小熱量損失。

2、樣品可置于加熱線圈內，以達到更好的加熱效率和溫度均勻性。

3 、采用 PID 方式調節溫度， 可設置 30 段升降溫程序。

4、設有一滑動法蘭安裝于移動加上，以便于樣品的放入和取出。

5 、已通過 CE 認證。

技術參數

等離子源

1、等離子體射頻電源： 110V/220V    50Hz/60Hz    <100W

2、輸出頻率： 13.56MHz

3、射頻功率： 7.2W 、10.5W 、18W 三檔，可調節

4、腔體尺寸： 外徑 ?76.2mm×內徑 ?68.58mm×長 406.4mm

5 、加熱圈： 電源 220V ，功率 500W ，外徑 ?50mm×內徑 ?40mm×70mm ，并套有內徑 ?50.8mm×?75mm 的石英罩

6、法蘭： ?3″不銹鋼法蘭， 設有 KF-25 真空泵接口、 1/4″卡套接頭、不銹鋼針閥

7、通入氣體：可通入多種惰性氣體， 如 N2 、Ar，不可通入易燃易爆性氣體

8、真空度： 10-2torr  （機械泵）

兩通道混氣系統

1、浮子流量計： 10ml/min-100ml/min ，2 個

2、針閥： 304 不銹鋼針閥， 3 個

3、壓力表： -0.1MPa-1.0MPa（0.01MPa/grid）， 3 個

真空泵

1、抽氣速率： 120L/min

2、接口： KF-25

產品規格

1 、尺寸： 等離子源 216mm×254mm×203mm ，控制盒 102mm×254mm×203mm，兩通道混 氣系統 340mm×300mm×180mm  ，移動架 600mm×600mm×1250mm

2、重量： 32kg