產品名稱

OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發鍍膜（CSS）爐

產品型號

OTF-1200X-RTP-II

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：設備需選配自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）

2、電： AC220V 50Hz（20A 空氣開關），必須有良好接地

3 、氣： 設備腔室內需充注氬氣（純度 99.99%以上） ，需自備氬氣氣瓶（自帶 ?6mm 雙卡套接

頭）

4、工作臺：設備為落地式， 占地面積 1m2 以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機構上。

2 、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（?76mm×0.5mm），使得樣品基片上的溫度更加

均勻。

3 、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上，用于盛放蒸發料。

4 、真空法蘭通過兩個硅膠 O 型圈進行密封，通過機械泵其腔內真空度可達 10-2torr ，通過分子 泵真空度可達 10-5torr。

5、兩個真空法蘭都可以通過手動操作進行上下移動。

6、一個數字式真空顯示計安裝在法蘭頂部，可以精 確測量腔內真空度。

技術參數

1 、電源： 單相 AC208V-240V （需 20A 的空氣開關）

2、真空腔體：高純石英管， 外徑 280mm ，內徑 275mm ，高 229mm

3、加熱元件： 兩組 IR 紅外燈管， 額定功率 800W ，總功率 1600W

4、熱電偶： S 型熱電偶 2 個，分別安裝于上下法蘭上

5、工作溫度：兩個加熱區域單獨工作的極限溫度≤650℃，兩加熱區域極限溫差≤350℃

6、加熱速率： >8℃/s

7、冷卻速率： >10℃/s（600℃-100℃）

8、真空法蘭： 316 不銹鋼制作， 配有 1 個 KF-25 接口、 2 個 1/4″軟管接頭

9、真空計：數字式真空顯示計

可選配件

1 、PC 控溫軟件

2、兩路混氣系統

3、多路浮子混氣系統

4、多路質子混氣系統

5、真空泵

6、水冷機