產品型號

開啟式單溫區低真空 CVD 系統 OTF-1200X-F3LV

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有循環風冷系統，殼體溫度<60℃。

2 、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時延長使用壽命。

3 、采用 PID 控制器 ，可以設置 30 段升降溫程序。

4、設有超溫及斷偶報警功能。

5 、已通過 CE 認證。

技術參數

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    2.5KW

2、石英管： 外徑 ?80mm ，內徑 ?75mm ，長 1000mm

3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

4、加熱區域： 440mm

5、恒溫區域： 150mm

6 、工作溫度：  1200℃ ，連續工作 1100℃

7、升降溫速率： 20℃/min

8、控溫精度：± 1℃

9、真空度： 5.5×10-3torr （機械泵）， 10-4torr  （分子泵）

10、泄漏率： <5mtorr/min

11、浮子流量計： 3 個； 10ml/min-100ml/min ，16ml/min-160ml/min ，25ml/min-250ml/min

12、壓力表： 4 個

產品規格

尺寸： 管式爐 550mm×380mm×520mm ，混氣系統 600mm×600mm×597mm；重量： 60kg