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型號:

高真空CVD系統OTF-1200X-80-C2HV

描述:產品簡介:高真空CVD系統OTF-1200X-80-C2HV是由單溫區管式爐、兩路質子混氣系統和高真空機組組成,工作溫度可達1200℃,混氣系統可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入管式爐內部,本系統極限真空度可達10-5torr

  • 廠商性質

    經銷商
  • 更新時間

    2024-03-12
  • 訪問量

    125
詳細介紹

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產品簡介: 高真空 CVD 系統 OTF-1200X-80-C2HV 是由單溫區管式爐、兩路質子混氣系統和高真空機組組 成,工作溫度可達 1200 ,混氣系統可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入管式爐內部,本系統 極限真空度可達 10-5 torr。


產品型號

高真空 CVD 系統 OTF-1200X-80-C2HV

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地


3、氣:設備腔室內需充注氣體,需自備氣瓶氣源


4、工作臺: 尺寸 1600mm×600mm×700mm ,承重 150kg 以上


5、通風裝置:需要

主要特點

1、雙層殼體,配有風冷系統,殼體溫度<60℃。


2 、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護爐膛潔凈度。


3 、采用 PID 控制器, 可以設置 30 段升降溫程序。


4 、質量流量系統采用 316 不銹鋼制作而成。


5 、已通過 CE 認證。

技術參數

管式爐


1 、電源: AC 220V    50Hz/60Hz





2、石英管: 外徑 ?80mm ,內徑 ?75mm ,長 1000mm


3、加熱元件: 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲(表面涂有氧化鋯)


4、加熱區域: 440mm


5、恒溫區域: 150mm


6 、工作溫度:  1200 ,連續工作 1100


7、升降溫速率: 20/min


8、控溫精度:± 1


9、熱電偶: K 

高真空機組


1、殼體: 600mm×600mm×700mm ,承重 275kg


2、真空泵: 德國 Pfeiffer 真空泵


3、顯示屏: LCD 數字顯示


4、抽氣速率: N2-33L/s He-39L/s ,H2-32L/s


5、工作范圍: 1000mtorr-10-7mtorr

6、極限: 10-8mtorr  (無泄漏)

質量流量混氣系統


1、電源: 單相 AC208V-240V    50Hz/60Hz


2、功率: 18W


3、尺寸: 600mm×600mm×700mm


4、混氣箱: ?80mm×120mm


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