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產品簡介: 高真空 CVD 系統 OTF-1200X-80-C2HV 是由單溫區管式爐、兩路質子混氣系統和高真空機組組 成,工作溫度可達 1200℃ ,混氣系統可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入管式爐內部,本系統 極限真空度可達 10-5 torr。
產品型號 | 高真空 CVD 系統 OTF-1200X-80-C2HV |
安裝條件 | 本設備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水:不需要 2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設備腔室內需充注氣體,需自備氣瓶氣源 4、工作臺: 尺寸 1600mm×600mm×700mm ,承重 150kg 以上 5、通風裝置:需要 |
主要特點 | 1、雙層殼體,配有風冷系統,殼體溫度<60℃。 2 、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護爐膛潔凈度。 3 、采用 PID 控制器, 可以設置 30 段升降溫程序。 4 、質量流量系統采用 316 不銹鋼制作而成。 |
5 、已通過 CE 認證。 | |
技術參數 | 管式爐 1 、電源: AC 220V 50Hz/60Hz |
2、石英管: 外徑 ?80mm ,內徑 ?75mm ,長 1000mm 3、加熱元件: 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲(表面涂有氧化鋯) | |
4、加熱區域: 440mm 5、恒溫區域: 150mm 6 、工作溫度: 1200℃ ,連續工作 1100℃ 7、升降溫速率: 20℃/min 8、控溫精度:± 1℃ | |
9、熱電偶: K 型 | |
高真空機組 1、殼體: 600mm×600mm×700mm ,承重 275kg 2、真空泵: 德國 Pfeiffer 真空泵 3、顯示屏: LCD 數字顯示 4、抽氣速率: N2-33L/s ,He-39L/s ,H2-32L/s 5、工作范圍: 1000mtorr-10-7mtorr 6、極限: 10-8mtorr (無泄漏) | |
質量流量混氣系統 1、電源: 單相 AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率: 18W 3、尺寸: 600mm×600mm×700mm 4、混氣箱: ?80mm×120mm |
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