產品型號

PCE-6V 小型等離子清洗機

主要特點

1、采用氣體作為清洗介質，避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。

2 、可短時間內清洗掉有機污染物。

3 、清洗程度可達到分子級。

4 、可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。

5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性，并可消 毒和殺菌。

6 、樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現離子蝕刻。

7、廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、 微觀流體學等領域。

技術參數

1 、電壓： AC220V    10A

2、消耗功率： <500W  （包括真空泵）

3 、RF 電源： 輸出功率 100W ，輸出頻率 13.56MHz

4、腔體： ?190mm×98mm

5、石英管： ?180mm×55mm ，壁厚 7mm

6、內腔： ?165mm×55mm

7、清洗電極： ?120mm

8、樣品臺： ?150mm ，有效尺寸 ?140mm

9、樣品臺與電極間距： 15mm-50mm 可調

10、抽氣管： ?12mm

11、極限真空度： 0.1Pa

12、工作真空度： 60Pa-500Pa

13、氣路數量： 2 路（選裝）

14、流量控制器數量： 1 、2

15、流量顯示儀： 2 通道

16、氣路接口： ?6mm

17、加熱樣品臺： ?140mm ，加熱樣品溫度 RT-600℃±1℃（選裝）

18、冷卻水壓力： 0.2KPa-0.4KPa

19、工作環境： 溫度 5℃-35℃，濕度<80%  （相對濕度）不結露， 海拔高度 0-2000m

產品規格

尺寸： 245mm×235mm×460mm  （不含真空泵），重量： 20kg  （不含真空泵）

可選配置

1、加熱樣品臺

2、流量控制器（量程 10 、50 、100 ，最多可增加 2 個通道）