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產品簡介: VTC-200P 真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。 本機可用于強 酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。 VTC-200P 真空旋轉涂膜機腔體不可抽真空, 工作時利用真空盤吸附的 方式將樣品固定在載樣盤上,該設備可儲存 12 組程序,每組程序包含 6 個運行階段。不同運行階段設備轉 數不同, 使設備緩慢提升速度限速度, 有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜, 且不會過多浪費, 節約 材料。 腔室的上蓋可以對樣品進行加熱(可選功能) ,有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆過程的進行。 VTC-200P 真空旋轉涂膜機具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優點,主要應用于各大專院校、科研院所 的實驗室中進行薄膜的生成過程。
產品名稱 | VTC-200P 真空旋轉涂膜機 | |
產品型號 | VTC-200P | |
安裝條件 | 本設備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 | |
1、水:設備配有進出水口 | ||
2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地 | ||
3、氣:不需要 | ||
4、工作臺: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上 | ||
5、通風裝置:需要 | ||
主要特點 |
時間范圍: 0—60s。 |
2、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。 3、吸盤真空度可以達到-0.08MPa。 | |
4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。 5、根據樣件規格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。 6 、電機采用 24V 直流無刷電機,無級調速,可靠性高,適應性強,維修與保養簡單,噪音低, 震動小,運轉平穩,啟動快速穩定,加速后運行平穩,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 7、本機可置于手套箱內使用,但控制部分與真空泵需置于箱外。 8 、可在惰性氣體氣氛(如 Ar 、N2 )下進行涂層。 | |
9、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。 10、腔體通體采用聚丙烯材質,使用壽命更長,提高耐化學腐蝕性和優異的抗應力開裂性能。 11、全英文操作系統。 12、具有開蓋保護功能,當涂膜過程中或涂膜結束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止 13、控制器采用單控制箱,液晶顯示數值,更直觀可靠。 | |
技術參數 | 1、電源: 220V 50HZ 2、電機功率: 350W/24V 3、轉速: 500rpm-6000rpm 之間可調 4.可儲存 12 組程序, 每組程序包含 6 個運行階段, 5、每段增減速率設置范圍: 100 rpm s—2000 rpm /s,每段時間范圍: 0-60s 6、吸盤規格φ 100mm 7、本機可選配加熱功能: 加溫范圍 RT-99% |
加熱蓋,水槽及吸盤采用聚丙烯材質 溫度單獨控制,與主機程序控制無關聯 | |||
產品規格 | 尺寸:φ250mm×360mm;重量: 20kg | ||
標準配件 | 1 | φ100mm 真空吸盤 | 1 個 |
2 | O 型膠圈 | 1 個 | |
3 | 滴液器 | 1 個 | |
4 | 滴液器支架 | 1 個 | |
中心定位器 | |||
5 | 1 個 | ||
6 | 無油真空泵 | 1 臺 | |
可選配件 | 進口移液器 |
國產移液槍 | |
其它尺寸的真空吸盤 |
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