產品名稱

VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀

產品型號

VTC-16-3HD 3

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃， 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度 99.99%以上）清洗，需自備氬氣氣瓶

4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1 、PLC 控制面板， 4.3″觸摸屏， PID 控溫方式。

2、可控參數包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。

3、可與真空泵、 不銹鋼波紋管 KFD25 快速卸裝卡箍連用。

4 、已通過 CE 認證。

技術參數

1、輸入功率： 110V/220V 通用   2000W  （含真空泵）

2、輸出功率： 1600VDC    50mA（max 電流）

3、石英罩： ?160mm×120mm

4、樣品臺： ?50mm  （可選購加熱型樣品臺，極限溫度可到500℃； 極限濺射時間不可超過5min）

5、真空泵： 120L/M 旋片式真空泵

6、進氣口：裝有精密可調針閥，以實現方便的調節進氣量

7、靶材：尺寸直徑 ?47mm ，厚度 0.5mm-3mm；可濺射 Au 、Ag 、Pt 、Cr 、Ni，不可濺射氧 化物、半導體、一些輕金屬、 Al 、Zn 、C 等

產品規格

尺寸： 360mm ×350mm×3600mm；重量： 50kg

可選配件

1 、KF25 真空接口、卡箍

2、不銹鋼波紋管（600mm）

3、旋片式真空泵（ 120L/M）

4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材

5、加熱型樣品臺