產品名稱

GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀

產品型號

GSL-1100X-SPC-16-3

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃， 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度 99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上

5、通風裝置：不需要

主要特點

1、設有真空表、濺射電流表，可實時監控工作狀態。

2、通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電 離氣體，以獲得好的鍍膜效果。

3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。

4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。

5、根據電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻 純凈。

6 、已通過 CE 認證。

技術參數

1、靶直徑： ?45mm

2、真空室： ?160mm×120mm

3、真空度：≤4×10-2mbar

4、靶位： 3 個

5 、max 電流： 50mA

6、可設定極間： 900s

7、微型真空氣閥： 連接 ?3mm 軟管

8、極限電壓： 1600V    DC

9、機械泵： 2L/s

標準配件

1

金靶材

1 個

2

銅靶材

1 個

3

鋁靶材

1 個

4

進氣針閥

1 個

5

保險絲

2 個

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材