產品名稱

VTC-16-D 小型直流磁控等離子濺射儀

產品型號

VTC-16-D

主要特點

1 、特別為 SEM 樣品鍍導電性薄膜設計。

2、體積小巧，操作簡單，容易上手。

3、擁有小型磁控靶頭，可以鍍金銀鉑等金屬。

1、輸入電源： 220V AC 50/60Hz

2、功率： 200W

3、輸出電壓： 500 VDC

技術參數

5、濺射時間： 0-120S 可調

6、濺射腔體

1）采用石英腔體，尺寸： 166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H

2）密封： 采用不銹鋼平法蘭的 O 形密封圈

7、濺射頭&樣品臺

l）濺射頭可安裝靶材直徑為 2 英寸， 厚度 0.1 - 2.5mm

2）濺射時間 1-120S 可調

3）儀器中安裝有直徑為 50mm 的不銹鋼樣品臺， 其與濺射頭之間距離 30-80mm 可調。

4）可選購加熱型樣品臺，其加熱溫度可達 500℃

5）安裝有一可手動操作的濺射擋板，可進行預濺射

6）制膜的直徑可達:4 英寸（僅供參考，詳情請點擊）

8、真空系統

l）安裝有 KF25 真空接口 2）數字真空壓力表（Pa） 3）此系統可通入氣體運行

4）< 1.0E-2 Torr    （采用機械泵）

5）< 1.0E-5 Torr  （采用渦旋分子泵）

9、進氣

l）設備上配 1/4 英寸進氣口，方便連接氣瓶

2）設備前面板上裝有一氣流調節旋鈕，方便調節氣流

10、靶材

l）靶材尺寸要求： Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度)

2）設備標配為銅靶

11、產品外型尺寸

L460 mm × W 330 mm × H 540 mm