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SE-i 光譜橢偏儀
產品簡介: 光譜橢偏儀 SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀,針對有機/無機鍍膜工藝研究 的需要開發的原位薄膜在線監測中的定制化開發,快速實現光學薄膜原位表征分析。光譜橢 偏儀廣泛應用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學氣相沉積, ALD 沉積等光學薄 膜工藝過程中實際原位在線監測并實時反饋測量物性數據。
產品型號 | SE-i 光譜橢偏儀 |
技術參數 | 1、自動化程度:固定變角 2、應用定位:原位定制型 3、基本功能: Psi/Delta、N/C/S 等光譜 4、分析光譜: 380-1000nm,支持按需定制化 5、單次測量時間: 0.5-5s 6、重復性測量精度: 0.01nm 7、入射角范圍: 65°(支持定制) |